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PARKERUHP隔膜閥-手動(dòng)或氣動(dòng)完整的產(chǎn)品說(shuō)明

（真空至300 psig） - 930系列

       930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動(dòng)操作和氣動(dòng)執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用。

       930系列采用不與過(guò)程流體接觸無(wú)螺紋或彈簧設(shè)計(jì),可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少

半導(dǎo)體應(yīng)用中的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì),控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供

穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥[門潤(rùn)濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和

泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean" 316L不銹鋼材質(zhì)。Vericlean" 是派克

的UHP級(jí)不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。930系列還提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE )，

聚醚醚酮樹脂( PEEK⑧)和聚酰亞胺( Vespel⑧)材質(zhì)的閥座，可使930閥門與多種工藝流

體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn),給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300

psig時(shí)的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

930系列氣動(dòng)閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開-關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造

可選,包括930Y系列( Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。

930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過(guò)質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試，

以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中, 保有其性能和穩(wěn)定性。

市場(chǎng):

半導(dǎo)體

分析實(shí)驗(yàn)室

●制藥

， 生物制藥

●航空航天

.工業(yè)

PARKERUHP隔膜閥特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):

●電拋光表面光潔度: 5微英寸( Ra )

●高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務(wù))

●內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留

●全壓力范圍使用:從真空到300 psig

●內(nèi)部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe

.外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He

●AOP驅(qū)動(dòng),額定壓力為75 psig

PARKERUHP隔膜閥應(yīng)用:

腐蝕性氣體和特種氣體

半導(dǎo)體工具

工具連接

燃?xì)夤?

閥組箱(VMB)